近空间升华（CSS）镀膜设备研发

碲化镉薄膜太阳能电池（简称碲化镉发电玻璃）具有弱光发电性能好、成本低、能源回收期短三大优势，是国际上重点发展的太阳能发电技术之一。碲化镉薄膜的沉积是发电玻璃的核心工艺之一，当前产业化的技术主要有两种：气相传输沉积法（VTD）和近空间升华沉积法（CSS）。美国First Solar是当前世界上大规模量产CdTe薄膜发电玻璃的生产商，其薄膜沉积技术采用VTD，其在全球范围内建立了超过30条生产线。CSS镀膜设备的研发将会打破碲化镉发电玻璃产业化技术单一的垄断局面，为我国太阳能利用注入了新活力，增强在薄膜光伏领域的国际竞争力，促进中国建材集团乃至国际碲化镉发电玻璃的发展，推动碲化镉发电玻璃产业化、规模化、集成化，推动建筑光伏一体化发展，有效降低建筑能耗水平，社会与经济效益显著。 相比实验室薄膜沉积技术，大规模及产业化薄膜沉积技术最困难的地方在于沉积薄膜的均匀性和稳定性。薄膜沉积的均匀性很大程度上取决于衬底的温度和腔内流体气氛的控制、传输控制体系以及真空系统。期望研发一套连续镀膜、大面积生产的CSS镀膜设备，在尺寸约1.6 米×1.2 米的玻璃衬底上进行碲化镉成膜，厚度可控并均匀致密，可得到2-5um厚的膜层，膜厚0.1um可调，成膜速度>5 m2/min。